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Technoorg Linda 精修離子束系統(tǒng)的低能氬離子槍?zhuān)℅IB） 適用于表面減薄、其他表面處理后的后處理、清潔以及去除無(wú)定形和氧 化物表面層。 當(dāng)?shù)湍軞咫x子槍集成到掃描電鏡中時(shí) ，其作用尤為明顯。有了集成離子槍 ，就可以在研究之前對(duì)樣品 進(jìn)行精修。 實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量樣品的另一個(gè)重要應(yīng)用是在雙束 SEM / FIB 系統(tǒng)中進(jìn)行 FIB 樣品制備后，對(duì) TEM 樣品進(jìn)行拋光和溫和的表面清潔。

SEMPREP SMART離子研磨儀配備了高能量和可選的低能量氬離子槍。這款設(shè)備是用于掃描電子顯微鏡(SEM)和電子背散射衍射(EBSD)樣品的最終加工和清潔的理想選擇。離子加工可以改進(jìn)和清潔機(jī)械拋光的 SEM 樣品并為 EBSD 分析制備無(wú)損表面。該設(shè)備還適用于快速截面加工。為您制備高精度和高質(zhì)量的樣品，例如在半導(dǎo)體測(cè)試或鋰離子電池隔膜的截面檢查中均能實(shí)現(xiàn)出色的效果。

臺(tái)式離子研磨拋光儀 SEMPrep2 作為新一代的高精密氬離子研磨系統(tǒng)，可以滿足研究人員苛刻的研磨需求。集成式多功能截面拋削以及無(wú)損平面拋光系統(tǒng)，為 SEM 以及 EBSD 用戶提供好的制樣助力。